개발 된 메모리 채널 홀 에칭 스포츠 토토 사이트 추천 10 µm, 400 층 이상의 깊이 인 3D NAND 플래시의 초고속, 지구 온난화 잠재력을 84% 감소시킵니다

도쿄 전자 미야기 (Tokyo Electron Miyagi)의 개발 팀은 도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, 도쿄, Kawai Toshiki)의 플라즈마 에칭 장비의 개발 및 제조 기반 인 3D NAND에서 400 개가 넘는 층의 라미네이트 구조로 메모리 채널 구멍을 형성하는 새로운 에칭 기술을 개발했습니다. 우리는 매우 저온 온도 영역에서 절연 필름의 에칭 속도를 극적으로 증가시키는 새로운 프로세스를 개발했으며, 이는 현재까지 에칭하는 데 실용적이지 않았으며 호환 가능한 장치를 실현했습니다. 이 새로운 스포츠 토토 사이트 추천 33 분 안에 종횡비가 높은 10 µm의 에칭 깊이를 허용 할뿐만 아니라 기존 기술에 비해 지구 온난화 잠재력을 84% 줄이는 획기적인 기술을 허용합니다. 그림 1에서 볼 수 있듯이 모양이 매우 우수합니다. 이 스포츠 토토 사이트 추천 대용량 3D NAND 플래시의 추가 혁신에 기여합니다.

그림 1. 구멍 패턴 및 섬유 절단 사진의 SEM 단면 사진

그림 2. 3D NAND FLASH

우리의 개발 팀은 2023 년 6 월 11 일부터 16 일까지 Kyoto에서 2023 년 6 월 11 일부터 16 일까지 Kyoto에서 개최되는 2023 VLSI 스포츠 토토 사이트 추천 및 회로에 관한 2023 Symposium on VLSI 스포츠 토토 사이트 추천 및 회로 에서이 스포츠 토토 사이트 추천의 연구 결과를보고 할 것입니다.이 회사의 스포츠 토토 사이트 추천 발표를 기대하십시오.

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*종횡비 : 웨이퍼에 형성된 패턴의 깊이와 폭의 비율